扫描电子显微镜（SEM）

扫描电子显微镜（SEM）是利用二次电子和背散射电子信号，通过真空系统、电子束系统和成像系统获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等的一种分析仪器，随着科学技术水平的提高，其放大倍数 可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有很多优越的性能，是用途最为广泛的一种仪器，例如：

(1)观察纳米材料的形貌，对纳米材料的组成进行成分分析；

(2)使用扫描电镜，能够对断裂机理进行分析归类，明确断裂的类型，并且对裂纹源位置和扩展方向作出判定，明确金属材料的主要断裂机理；

(3)生物试样观察电子照射面发生试样的损伤和污染程度很小，对观察某些生物试样来说意义重要；

(4)对样品室内装有加热、冷却、弯曲、拉伸和离子刻蚀等附件，可以利用扫描电镜观察相变、断烈等动态的变化过程。

一、制样要求

1、粉体样品，常规粉末直接粘到导电胶上测试，如需分散后测试请提前说明；

2、液体样品，测试老师根据样品要求及实验室条件，随机选择滴到硅片或铝箔上，如有指定要求请提前说明；

3、薄膜或块体，请标明测试面，如需测试截面，请自行自备截面或提前说明截面制备方式。

二、样品要求

样品形态要求：粉末、液体、薄膜、块体均可测试；

粉末样品要求：样品量需要提供大概10mg；

液体样品要求：样品量≥300ul，溶剂和溶液不能发生反应，溶液务必能干燥，不易干燥的溶液需要说明干燥条件，请根据样品成分选择对应的基底；

块体/薄膜样品要求：长宽≤1cm，厚度≤1cm，样品质量不超过200g；

混凝土，珊瑚沙，气凝胶等需要抽真空时间非常长的样品要求：尺寸请尽可能直径≤5mm，厚度≤5mm；

需要脆断的样品要求：尺寸需要≥2*2cm，厚度＜0.5cm，较厚的样品建议尺寸准备大些。

三、其它要求

1、样品含水，湿润是不能做SEM的；

2、易分解样品需明确分解条件（如温度等），若样品极易分解可能不能安排测试，因为分解后产生物质可能对测试仪器造成影响；

3、水凝胶等易吸潮样品寄样前请先确认样品暴露 4-5h 内是否会出现明显的吸潮现象，测试过程中样品吸潮会影响拍摄的同时也会对仪器造成损伤；

4、导电性不好（如半导体金属氧化物、生物样品及塑料、陶瓷等）或强磁样品建议选择喷金，不喷金可能会影响拍摄效果；

5、要求样品无毒、无放射性、干燥无污染、热稳定性好、耐电子束轰击。